핵심 기술을 사용한 신제품 개발 사례 연구
EUV 노출을위한 포토 마스크 공백 (기술적 요소 : A, B, E, I, J, K)
최첨단 반도체 칩의 미세 회로 형성은 Excimer Laser Light (193NM)를 사용하여 기존의 노출보다 1/10 이하의 파장을 갖는 극도의 자외선 EUV (13.5nm)를 사용하여 반사 포토 리소그래피 기술을 사용하여 수행됩니다. 결과적으로, 포토 마스크 블랭크에 필요한 정확도는 갑자기 10 배 더 심해졌습니다. AGC는 열 팽창, 고정밀 연마 및 청소 기술 (B, J)이 거의없는 고급 유리 재료 설계 및 제조 공정 기술 (A, I)과 같은 고급 원소 기술을 보유하고 있으며,이 기술의 조합을 통해 성공적으로 개발 된 EUV 광 및 코팅 기술 (E, K)을 효율적으로 반영하는 광학 박막의 설계를 보유하고 있습니다.
EUV 노출을위한 포토 마스크 공백
큰 용량과 높은 통합을 달성하기 위해 반도체 칩의 회로 패턴을 최소화합니다
EUV 노출을위한 포토 마스크 블랭크
불소 기반 전해질 중합체 (기술 요소 : C, D, F, G, L)
수소의 사용은 지속 가능한 지구 환경의 실현에 기여할 것으로 예상됩니다. 주요 물질은 AGC의 불소 기반 전해질 중합체 포 블루™이것은 시리즈입니다.
녹색 수소 생산에 적합한 불소 기반 이온 교환 막 Forblue™S 시리즈는 태양 발전 및 풍력 발전과 같은 재생 가능 에너지가 물 전기 분해를 통해 수소로 전환 될 수 있도록하여 저장 및 운반 될 수있게합니다. 연료 전지를위한 전해질 중합체 용액 forblue™I 시리즈는 전해질 막 및 연료 전지 전극에 사용되며 수소와 산소로부터 전기 에너지를 효율적으로 생성하며 CO2를 생성하지 않습니다. 이들 불소 기반 전해질 중합체는 AGC의 플루오로 카본 재료, 중합체 재료 기술 (C, D), 전기 화학 기술 (F), 이종 재료 복합 기술 (G) 및 화학 공정 기술 (L)을 결합하여 개발 및 제조된다.
불소 기반 전해질 중합체
지속 가능한 글로벌 환경 실현에 기여하는 수소 에너지 활용을위한 핵심 재료
물 전기 분해 및 연료 전지에 사용되는 불소 기반 전해질 중합체
